Polarisatieconverter met regelbare dubbele breking op basis van hybride volledig diëlektrisch grafeenmetasurface
Abstract
Eerdere onderzoeken naar hybride diëlektrische meta-oppervlakken van grafeen zijn gebruikt om apparaten met geïnduceerde transparantie te implementeren, terwijl ze hoge Q-factoren vertonen op basis van ingesloten magnetische resonanties. Typisch zijn de transparantievensters van een enkele golflengte en minder geschikt voor polarisatieconversiestructuren. In dit werk wordt een kwartgolfplaat op basis van een hybride silicium-grafeen-meta-oppervlak met regelbare dubbele breking numeriek ontworpen. Het fenomeen van ingesloten magnetische modusresonantie en hoge Q-factoren worden gemoduleerd door grafeen tussen silicium en silica in te voegen. Dit resulteert in een bredere transmissiegolflengte in vergelijking met de volledig diëlektrische structuur zonder grafeen. De afstembaarheid van dubbele breking is gebaseerd op de afmetingen van silicium en de Fermi-energie van grafeen. Dientengevolge wordt een lineaire-naar-circulaire polarisatieconversie bereikt met een hoge graad van 96%, in het nabij-infrarood. Bovendien is de polarisatietoestand van het verstrooide licht omschakelbaar tussen rechtse en linkse circulaire polarisaties, gebaseerd op een externe poortvoorspanning. In tegenstelling tot plasmonische meta-oppervlakken, demonstreren deze prestaties een efficiënte structuur die vrij is van stralings- en ohmse verliezen. Bovendien worden de ultradunne dikte en de compactheid van de structuur gedemonstreerd als belangrijke componenten bij het realiseren van integreerbare en CMOS-compatibele fotonische sensoren.
Achtergrond
Onderzoek in nanofotonica verschuift naar volledig diëlektrische elementen, met name bij het ontwerpen van afstembare en experimenteel haalbare lichtmanipulerende meta-oppervlakken [1, 2]. Het primaire doel is om dergelijke meta-oppervlakken te integreren in nanofotonische detectieapparatuur. De verschuiving van de focus naar de diëlektrische meta-oppervlakken is te wijten aan lage stralings- en ohmse verliezen die worden vertoond in silicium en andere diëlektrische materialen in vergelijking met de plasmonische meta-oppervlakken. Daarom zijn eerder speciale plasmonische structuren voorgesteld die gebruikmaken van resonanties met hoge Q-gevangen modus om de transmissie-efficiëntie te verbeteren [2-5]. De verliesvermindering wordt bereikt door de interferentie tussen discrete elektrische en magnetische modi of door het breken van de symmetrie in de metalen elementen. Er wordt een zwakke koppeling in de vrije ruimte ontwikkeld die de verliesreductie verbetert [1, 6]. Materialen die magnetische resonantie vertonen, zoals titania (TiO2 ), siliciumnitride en germanium vertonen goede optische eigenschappen in verschillende regio's van het elektromagnetische spectrum vanwege lage verliezen [7-9]. Ze hebben met name een lage zichtbare dispersie en sterke elektro-optische eigenschappen waardoor ze kunnen worden gebruikt bij het ontwerpen van metasurface optische elementen met een laag contrast.
Onlangs zijn op grafeen gebaseerde Fano-resonantiemetasurfaces met succes voorgesteld voor lichtmanipulatie-apparaten zoals modulatoren [10–13], absorbers [14, 15], slow-light-apparaten [16, 17] en mantels [16, 18], evenals anderen. In deze apparaten werden stralingsverliezen beperkt als gevolg van de sterke interactie tussen het monolaag grafeen en het beperkte elektrische veld in resonantiegaten. Grafeen biedt opmerkelijke eigenschappen, waaronder afstembare optische geleidbaarheid en hoge draaggolfmobiliteit. Dit stelt het in staat om resonante structuren met een hoge Q te ondersteunen met onderdrukte stralingsverliezen [19, 20]. Aan de andere kant maken metalen meta-oppervlakken gebruik van subgolflengte-elementen om de opsluiting van het elektrische veld te verbeteren en abrupte veranderingen in fase, amplitude en polarisatie van het invallende licht te creëren.
Gesplitste ringresonator (SRR) is een veelgebruikt plasmonisch metasurface-element vanwege zijn inductantie-capaciteitsresonantie-aard die zijn flexibiliteit bij het afstemmen van optische eigenschappen mogelijk maakt. Evenzo maken andere diëlektrische meta-oppervlakken ook gebruik van de SRR als de basis-meta-oppervlak-eenheid vanwege zijn vermogen tot afstembaarheid en fabricage [21, 22]. Andere elementvormen zoals "Z-slots" op siliciumfilms zijn ook ontworpen als polarisatiesplitsers [23]. De metalen meta-oppervlakken hebben echter hoge ohmse verliezen en een lage transmissie die hun efficiëntie van lichtmanipulatie verlagen [24, 25].
All-diëlektrische meta-apparaten en gradiëntrooster polarisatieconverters, voorgesteld door Chen et al. en Kruk et al., hebben opmerkelijke efficiënties laten zien ∼ 99% [26, 27]. De structuren vertonen hoge dubbele brekingsverhoudingen, respectievelijk 0,35 en 0,9, in de terahertz- en nabij-infrarode gebieden. Er werden echter geen afstemmechanismen voor dubbele breking voorgesteld. In dit werk worden de afstembaarheid en het schakelen van dubbele brekingen gedemonstreerd door middel van poortspanningsvoorspanning, terwijl structuurflexibiliteit wordt getoond door dimensievariatie. Doorgaans worden meta-oppervlakken die zijn gemaakt van antennes met een hoge brekingsindex beperkt door de aanwezigheid van gedeeltelijke terugreflecties als gevolg van een mismatch in de impedantie. Een methode om deze uitdaging het hoofd te bieden, is het ontwerpen van siliciummeta-oppervlakken met sterke gelokaliseerde elektrische en magnetische Mie-type resonanties, zodat transmissies van bijna-eenheid kunnen worden gerealiseerd [28-30]. Meta-oppervlakken met hoog contrast hebben daarentegen een hogere efficiëntie maar een lagere ruimtelijke resolutie voor het realiseren van nauwkeurige fase- of polarisatieprofielen langs de rasterlijnen [31, 32].
In dit werk wordt een volledig diëlektrisch meta-oppervlak met een hoge Q-factor op basis van ingesloten magnetische modus getoond. De voorgestelde eenheidscel is samengesteld uit kruisvormige, asymmetrische, rechthoekige dipolen gemaakt van silicium, grafeen en silicasubstraat. De grafeenlaag zit ingeklemd tussen het silicium en het silica. Controle van lichtpolarisatie wordt bereikt door de intrinsieke eigenschappen van grafeen en de afmetingen van silicium, terwijl het kwartgolfplaatkenmerken vertoont. Daarom wordt invallend lineair gepolariseerd licht omgezet in circulair gepolariseerd licht met een hoge polarisatieconversieverhouding (PCR) in het nabij-infrarood (> 95% ). Bovendien is de circulaire polarisatietoestand van het verstrooide licht omschakelbaar tussen een rechtshandige circulaire polarisatie (RCP) en een linkshandige circulaire polarisatie (LCP) toestand, via een externe poortspanningsvoorspanning. Deze dynamische controle van polarisatie verhoogt de vrijheidsgraden van de structuur en kan een grote impact hebben op de CMOS-fotonische apparaten. De eindige-elementenmethode, met behulp van COMSOL Multiphysics, is gebruikt om de eenheidscel te modelleren en de prestaties van het meta-oppervlak te analyseren.
Methoden
De schematische weergave van de eenheidscel van de structuur wordt getoond in Fig. 1a. Het bestaat uit een silicium kruisvormige antenne bovenop een grafeenlaag en een siliciumsubstraat. De relatieve permittiviteit van het silicium en het siliciumdioxide is respectievelijk 12,25 en 2,25 [33]. Alle afmetingen zijn weergegeven in het bijschrift van Fig. 1a. Ten eerste, om een acceptabele resonantie te verkrijgen, moet de periodiciteit P x =600 nm was vast en P j over meerdere waarden geveegd. De interne afmetingen L 1 =440 nm en L 2 =370 nm werden ook vast gehouden, maar later geoptimaliseerd voor fase-afstemming. De hoogte h =110 nm en breedte W =60 nm werden gedurende de simulaties vastgehouden. Er werd gebruik gemaakt van normaal invallend licht van poortbronnen, periodieke grenzen en een perfect op elkaar afgestemde laag aan de uitgangszijde.
Schematische illustraties. a. Afmetingen eenheidscel:L 1 =450 nm, L 2 =370 nm, u =110 nm, W =60 nm, P x =600 nm, en P j =560 nm. b. Invallend lineair gepolariseerd licht onder een polarisatiehoek, α , omgezet in circulair gepolariseerd licht door de structuur
De transmissie-eigenschappen van licht werden gedefinieerd op basis van de verstrooide elektrische velden E ik (ik =x ,j ), dwz \(T_{xx} =\links |\frac {E_{x}}{E_{0}}\rechts |\), \(T_{yy} =\links |\frac {E_{y }}{E_{0}}\right |\), Φ xx =arg(E x ), en Φ jj =arg(E j ), waar T ii (ik =x ,j ) zijn transmissiecoëfficiënten en Φ ii (ik =x ,j ) zijn fasecomponenten. Vervolgens hebben we de fasevertraging gedefinieerd als \(\Delta \Phi =\text {arg}\left (\frac {E_{x}}{E_{y}}\right) =\Phi _{xx}-\Phi _ {yy}\) en berekende het op een afstand z =1.2 μ m van het oppervlak. Een dubbelbrekend meta-oppervlak manipuleert de polarisatietoestand van het invallende licht door een fasevertraging in te voeren op een van de componenten in het transmissieveld. Volgens het Huygens-principe creëert de structuur een fasediscontinuïteit en een fasevertraging tussen Φ xx en Φ jj van het doorgelaten licht \(E =E_{x}e^{i\Phi _{xx}}\hat {x}+E_{y}e^{i\Phi _{yy}}\hat {y}\ ). Als de geïntroduceerde fasevertraging 90 ° of -90 ° is, worden respectievelijk een LCP- of een RCP-lampje geproduceerd, die de QWP-werking bevestigt, zoals geïllustreerd in Fig. 1b. In het algemeen is de uitgezonden golf door het meta-oppervlak elliptisch gepolariseerd:
$$ \frac{x^{2}}{E_{x}^{2}}+\frac{y^{2}}{E_{y}^{2}}-2\frac{xy}{E_ {x} E_{y}}\cos\Delta\Phi =\sin^{2}\Delta\Phi. $$ (1)
Meestal worden de optische eigenschappen van grafeen weergegeven door zijn geleidbaarheid, σ , gekenmerkt door zowel de interband als de intraband overgangen:σ =σ Ik +σ D , waar σ Ik en σ D zijn respectievelijk de interband en intraband geleidbaarheid. Een verandering van oppervlakteladingsdichtheid, n s , in grafeen varieert de elektronenpopulatie in grafeen en de Fermi-energie, dwz \(E_{F} =\hbar \nu _{F}(\pi n_{s})^{1/2}\), waarbij
waar Γ =110 meV is energie die leidt tot verbreding van de interbandtransitie bij nabij-infrarood en τ is de free-carrier verstrooiingssnelheid. Parameter \(\frac {1}{\tau }\) wordt verondersteld nul te zijn vanwege de dominantie van interbandovergangen over de intrabandovergangen bij nabij-infrarood [1].
Resultaten en discussie
Dubbelbrekingscontrole door Fermi-energie en structuurdimensies
Eerst werd het volledig diëlektrische meta-oppervlak zonder grafeenlaag gesimuleerd en verkregen de transmissiespectra getoond in figuur 2a. De structuur werd verlicht door een invallend lineair gepolariseerd licht (LP), onder een polarisatiehoek, α , zoals geïllustreerd in Fig. 1b. De transmissieresultaten in figuur 2a tonen een smalle resonantie met hoge Q-factor. Dit wordt toegeschreven aan de excitatie van ingesloten magnetische modi. Er is een sterk elektrisch veld in het vlak bij de resonantiegolflengte λ =1.49 μ m langs de randen van de antenne (Fig. 2b). De elektrische velden in het vlak zijn anti-parallel en veroorzaken een destructief interferentie-effect tussen de elektrische en magnetische dipoolreacties. De componenten van het invallende LP-licht onder een polarisatiehoek, α =48°, veroorzaakt een zwakke koppeling tussen de ingesloten elektromagnetische modi en het licht in de vrije ruimte. Bovendien resulteert een sterke veldpenetratie in de siliciumdipool in een scherpe faseverschuiving en verbeterde koppeling tussen de invallende vlakke golf en de circulerende verplaatsingsstroom. Een sterke magnetische resonantie en een abrupte faseverandering treden op bij de resonantiegolflengte zoals weergegeven in Fig. 3a, b. De magnetische dipoolmodus wordt meer beïnvloed door de cirkelvormige verplaatsingsstroom dan de elektrische modus, die voornamelijk te wijten is aan koppeling tussen de naburige antennedipolen. Bovendien, Kirshav et al. toonde aan dat de magnetische resonantie wordt beïnvloed door de afmeting en vorm van de structuur [34]. In onze structuur kunnen bijvoorbeeld de laterale afmetingen en de golflengte van het invallende licht gerelateerd worden via \(L_{i}(i~=~1,2)\ approx \frac {\lambda }{n_{\text { si}}}\), waarbij L ik ≈440 nm en n si =3,5.
een Transmissie en reflectie voor de diëlektrische structuur zonder grafeen. b , c . Elektrische velden in het vlak E x (b) en E v (c), berekend op de resonantiegolflengte λ =1.49 μ m
een Fasecomponenten en vertraging van een volledig diëlektrisch meta-oppervlak zonder grafeen. Doorlaatbaarheid uitgezet als functie van de golflengte voor L 1 =440 nm, L 2 =370 nm, en W =60 nm, voor b structuur zonder grafeen en met grafeen (E F =0,8 eV), c variërende Fermi-energie, en d variërende L 2 van 350 tot 450 nm. Symmetrie breekt bij L 2 =410 nm splitst twee dominante modi:magnetisch en elektrisch
Wanneer de grafeenlaag tussen het substraat en de nanoantenne wordt ingebracht, wordt de circulerende verplaatsingsstroom in de siliciumantenne verminderd en wordt het elektrische oppervlakteveld verbeterd. Dit komt overeen met de toestand waarin de polarisatie van het invallende elektrische veld anti-parallel is aan de tegenovergestelde grenzen van de nanoantenne die aanleiding geeft tot een zwakke koppeling met de circulerende verplaatsingsstromen in het element. Grafeen introduceert een verbeterde geleiding in het oppervlak tussen het silicium- en silicasubstraat. Een sterkere koppeling met het elektrische veld in het vlak treedt op in vergelijking met de koppeling met verplaatsingsstroom binnen het element. Vanwege dit effect worden de antiparallelle elektrische velden, die anders destructieve interferentie op het oppervlak zouden veroorzaken, verminderd en neemt de Q-factor aanzienlijk af, zoals weergegeven in figuur 3b. De resonantiegolflengte verschuift ook iets van λ =1.49 μ m tot λ =1.5 μ m vanwege de verminderde penetratie in het silicium. In Fig. 3c wordt het effect van het variëren van de Fermi-energie van grafeen getoond. Voor een ongedoteerd grafeen (E F =0 eV), is er een sterke resonantie bij λ =1.5 μ m die afneemt naarmate het dopingniveau wordt verhoogd. De interbandovergang domineert wanneer het Fermi-niveau laag is en grafeen diëlektrische eigenschappen vertoont met een grotere ε ′ . Echter, wanneer E F wordt verhoogd, worden verschillende interband-overgangskanalen geblokkeerd; de intrabandovergangen veroorzaken dan de inductieve respons van grafeen en verminderen de absorptie [1, 20]. Het is vermeldenswaard dat met een grafeen-onderlaag en de juiste afmetingen van de siliciumstructuur, de magnetische en elektrische dipoolmodi in sterkte kunnen worden verbeterd, wat leidt tot een hoge verstrooiingsefficiëntie [34]. De siliciumantennes vertonen gekoppelde resonanties van twee nabije golflengten rond resonantie zoals weergegeven in figuur 3d. Bij λ =1.48 μ m toont de antenne koppeling van geïnduceerde magnetische dipolen, terwijl op λ =1,52 μ m, de koppeling is tussen de elektrische modi. De twee modi treden op wanneer de symmetrie van de antenne verandert van x naar y oriëntaties bij L 2 410 nm. De afmeting L 2 werd door een bereik van waarden tussen 350 en 480 nm gehaald terwijl L . werd behouden 1 vast op 440 nm.
Het grafeeneffect is gunstig voor het afstemmen van de fasecomponenten en de fasevertraging van de uitgezonden elektrische velden. Ten eerste worden de componenten van het invallende LP-licht ontleed in de orthogonale armen van de siliciumantenne. Elke dipoolresonantie drukt een ander fasepatroon op het verstrooide licht. In het bijzonder, nabij de resonantie, verschuift elke dipoolresonantie de fase van het invallende elektrische veld in het bereik [− π ,π ]. Met de juiste afmetingen van de antenne wordt een faseverschil van 90° verkregen zoals weergegeven in figuur 4a. De bijbehorende transmissiecoëfficiënt is weergegeven in figuur 4b. Het valt op dat het snijpunt T xx =T jj komt voor in de buurt van de resonantie, wat een ideale QWP-conditie definieert. Bovendien, door verschillende waarden van de lengte L . te doorlopen 2 terwijl je L . houdt 1 vast (L 1 =440 nm), kunnen de resonantieamplitudes die bij verschillende elektrische en magnetische modi horen, worden gevarieerd. Een acceptabel fasebandbreedtebereik binnen ± 10° werd verkregen wanneer L 2 =365 nm voor RCP en L 2 =450 nm voor LCP, zoals weergegeven in figuur 4c. Ten tweede verandert in figuur 4d, door de Fermi-energie van grafeen te variëren, de fasebandbreedte dienovereenkomstig. Bij λ =1.48 μ m, het ongedoteerde grafeen (E F =0 e V ) veroorzaakt een hoge penetratie van elektrische velden in de siliciumdipolen en een groot faseverschil tussen de x en y componenten van verstrooid licht (≈150°) optreden. Echter, zoals E F benadert 0,8 e V , de eigenschappen in het vlak (ε x =ε j ) de oppervlaktegeleidbaarheid van grafeen verhogen, wat resulteert in een verminderde penetratie in het silicium en een Δ Φ ≈90° bij λ =1.49 μ m.
een Fasecomponenten en vertraging van een volledig diëlektrisch/grafeen meta-oppervlak en b de bijbehorende transmissiecoëfficiënten T xx en T jj . Fasevertraging uitgezet als functie van de golflengte voor L 1 =440 nm, L 2 =370 nm, en W =60 nm, voor c variërende Fermi-energie en d variërende L 2 van 350 tot 450 nm
De berekende Stokes-parameters en polarisatie-ellipsafmetingen voor de hybride structuur met L 1 =450 nm, L 2 =370 nm, en W =60 nm worden getoond in Fig. 5a, b. Opgemerkt wordt dat buiten de resonantiegolflengte de polarisatie van doorgelaten licht onveranderd blijft ten opzichte van die van het invallende licht. In de buurt van de resonantie verandert de polarisatietoestand echter in circulair voor een invallend LP-licht. Bij λ =1.5 μ m, de Stokes-parameterverhouding |S 3 /S 0 |≈ ± 1, waarbij een + 1-waarde een perfecte RCP aangeeft en een − 1 een perfecte LCP-uitvoer aangeeft. Hier, S 0 =|E x | 2 +|E j | 2 en S 3 =2E x E j sinΔ Φ zijn de Stokes-parameters. De mate van transmissie-intensiteit wordt bepaald door S 0 , d.w.z. een waarde> 50% is acceptabel. Figuur 5c toont de PCR-efficiëntie berekend op basis van de transmissiecoëfficiënten:
$$ \text{PCR}~=~\frac{T_{yx}^{2}}{T_{yx}^{2}+T_{xx}^{2}}, $$ (4)Nanomaterialen
- 3D-printen met hoge snelheid met AION500MK3
- Volledige Terahertz-polarisatiecontrole met verbrede bandbreedte via diëlektrische metasurfaces
- De elektrische eigenschappen van hybride composieten op basis van meerwandige koolstofnanobuisjes met grafiet-nanoplaatjes
- Verbeterd niet-lineair optisch effect in hybride vloeibaar-kristalcellen op basis van fotonisch kristal
- Hoge-orde diëlektrische metasurfaces voor zeer efficiënte polarisatiestraalsplitters en optische vortexgeneratoren
- Zeer geleidende PEDOT:PSS transparante gattransportlaag met oplosmiddelbehandeling voor hoogwaardige silicium/organische hybride zonnecellen
- Hoge prestaties van PEDOT:PSS/n-Si-zonnecellen op basis van een gestructureerd oppervlak met AgNWs-elektroden
- Verbeterde hoge prestaties van een metasurface-polarisator door numerieke analyse van de afbraakkenmerken
- Hoge prestatie organisch-nanogestructureerde silicium hybride zonnecel met aangepaste oppervlaktestructuur
- Efficiënte polarisatiebundelsplitser op basis van volledig diëlektrisch metaoppervlak in zichtbare regio
- Een nanoschaal low-power weerstandloze spanningsreferentie met hoge PSRR