Industriële fabricage
Industrieel internet der dingen | Industriële materialen | Onderhoud en reparatie van apparatuur | Industriële programmering |
home  MfgRobots >> Industriële fabricage >  >> Industrial materials >> Nanomaterialen

Heldere enkelvoudige fotonbron op 1,3 μm gebaseerd op InAs Bilayer Quantum Dot in Micropillar

Abstract

Een uitgesproken hoge telsnelheid van enkelvoudige fotonenemissie bij een golflengte van 1,3 μm die in staat is tot op vezels gebaseerde kwantumcommunicatie van InAs / GaAs dubbellaagse kwantumdots in combinatie met een micropillar (diameter ~ 3 μm) holte van gedistribueerde Bragg-reflectoren, werd onderzocht, waarvan de fotonextractie-efficiëntie 3,3% heeft bereikt. Cavity-modus en Purcell-verbetering zijn duidelijk waargenomen in microfotoluminescentiespectra. Aan het detectie-einde van de Hanbury-Brown- en Twiss-opstelling, registreren de twee lawine-modules voor het tellen van één foton een totale telsnelheid van ~ 62.000/s; de tijd-coïncidentie-telmeting toont emissie van één fotonen aan, met de mogelijkheid tot emissie van meerdere fotonen, d.w.z. g 2 (0), van slechts 0,14.

Achtergrond

Op optische vezels gebaseerde kwantuminformatie vereist echte single-photon sources (SPS's) op de telecomband om de traditionele pseudo-SPS's op basis van sterk vervallen pulslasers te vervangen. Zelf-geassembleerde individuele kwantumdots (QD's) zijn in staat om echte enkelvoudige fotonen uit te zenden en hebben daarom grote belangstelling gewekt [1,2,3,4]. De integratie van een gedistribueerde Bragg-reflector (DBR) holte in een enkele QD zal de directionele emissie verbeteren. Vergeleken met InAs QD's gekweekt op InP-substraat met een emissie van ~1,55 μm met rooster-gematchte indiumrijke materialen gekweekt bij een lage temperatuur als DBR [5, 6], zijn InAs QD's gekweekt op GaAs-substraat voordelig voor de gemakkelijke integratie van rooster-gematchte hoogwaardige GaAs/Al0,9 Ga0.1 Als DBR. Om InAs/GaAs QD SPS's op de telecomband te realiseren, moet hun emissiegolflengte zich uitstrekken van de gebruikelijke ~0,9 tot 1,3 of 1,55 μm en moet hun dichtheid zo laag zijn als 10 7 –10 8 cm −2 om enkele QD's in een microregio te realiseren. Om InAs QD's met lage dichtheid te fabriceren door middel van moleculaire bundelepitaxie (MBE), zijn enkele constructieve schema's voorgesteld, zoals ultralage groeisnelheid [3], hoge groeitemperatuur [7,8,9] en nauwkeurige controle van de afzettingshoeveelheid [10 ] van QD's en de isolatie van QD's door groei op een substraat met mesa/gatpatroon [11] of etsen in micropilaren [12, 13]. Om hun emissiegolflengte te verlengen, zijn verschillende technieken ontwikkeld, zoals strain engineering van QD's [14], metamorfe structuren [2] en strain-coupled bilayer QD (BQD)-structuur [15,16,17]. BQD-structuur op GaAs-substraat is effectief om emissie boven 1,3 m te bereiken. BQD's met hoge dichtheid zijn toegepast in laserdiodes van ~ 1,5 μm die bij kamertemperatuur werken [15, 16]. Omdat het het gebruik van metamorfe laag en ultralage groeisnelheid in de actieve laag vermijdt, wat de kristalkwaliteit zou kunnen verslechteren [2], is de BQD-structuur ook gewenst om QD's met lage dichtheid in telecomgolflengte te laten groeien. InAs/GaAs BQD's met lage dichtheid die emitteren bij 1,3 μm zijn verkregen in ons eerdere werk [18]. Om een ​​hoge telsnelheid van enkele fotonen bij 1,3 μm te bereiken voor op glasvezel gebaseerde toepassingen [2, 19], moet de efficiëntie van fotonextractie van enkele QD's worden verbeterd. In deze brief verbeteren we, door de groeiomstandigheden van de BQD-structuur verder te optimaliseren en een micropijlerstructuur te fabriceren, de fotonenextractie van enkele InAs/GaAs BQD's die bij 1,3 μm emitteren aanzienlijk. De single-photon count rate heeft 62.000 counts/s bereikt bij de InGaAs single-photon counting module of 3,45 M counts/s bij de eerste objectieflens, rekening houdend met de efficiëntie van het verzamelen van fotonen van de confocale microscoop spectroscopie setup. Dit is de eerste keer dat een hoge tellingssnelheid van enkelvoudige fotonenemissie op telecommunicatiegolflengte wordt gerapporteerd met behulp van InAs/GaAs BQD's. De emissie-intensiteit kan verder worden verbeterd door het introduceren van een n-type δ-gedoteerde laag naast de BQD-laag om elektronengeladen excitonen te produceren [13].

Methoden

Het onderzochte monster werd gekweekt door MBE met vaste bron (VEECO Gen930-systeem) op semi-isolerend (100) GaAs-substraat. De monsterstructuur bestaat achtereenvolgens uit een 300 nm dikke GaAs-bufferlaag, een 25,5 paar golflengte-gematchte Al0,9 Ga0.1 As (113,7 nm)/GaAs (98,6 nm) onderste DBR, een één λ -dikke ongedoteerde GaAs-holte en een 8-paar Al0.9 Ga0.1 As/GaAs bovenste DBR met dezelfde periode. In het midden van de GaAs-holte werd de actieve laag voor telecomemissie, dwz de BQD-structuur met InGaAs-rekverminderende laag, gekweekt bij 470 ° C in de Stranski-Krastanov-groeimodus, die lager was dan de temperatuur die in onze vorige het werk. Meer groeidetails worden gerapporteerd in Ref. [18]. In dit werk worden speciaal micropillararrays gefabriceerd op de DBR-caviteit-gekoppelde BQD-monsters door fotolithografie en inductief gekoppeld plasma (ICP) etsen met chloor (Cl2 ) en argon (Ar) gasmengsel. Zoals te zien is in de afbeelding van de scanning-elektronenmicroscoop (SEM) in figuur 2a, hebben de micropilaren een diameter van ~ 3 m en een hoogte van 7,75 m, met zeer gladde zijwanden. Het monster werd gekoeld in een cryogeenvrije badcryostaat met een temperatuur fijn afgestemd van 4 tot 50 K en geëxciteerd door een He-Ne-laser met een golflengte van 633 nm. De confocale microscoopopstelling met een objectief (NA, 0,65) focust de laser op een plek met een diameter van 2 μm en verzamelt de luminescentie effectief in een spectrograaf, die een scanning van microregio mogelijk maakt om enkele QD-excitonspectraallijnen te doorzoeken. Microfotoluminescentie (μPL) spectrum werd gedetecteerd door een 0,3 m lange monochromator met brandpuntsafstand uitgerust met een vloeistof-stikstof gekoelde InGaAs lineaire array-detector voor spectrograaf. Voor reflectiviteitsmeting werd een spectrofotometer (PerkinElmer 1050) gebruikt met een scanstap van 2 nm en een lichtvlek van 3 mm × 3 mm. Om de stralingslevensduur van het exciton te onderzoeken, werden een tijdgecorreleerd single-photon counting (TCSPC) bord en een Ti:Sapphire gepulseerde laser (pulsbreedte, ~ 100 fs; herhalingsfrequentie, 80 MHz; golflengte, 740 nm) gebruikt voor tijdsopgeloste μPL-meting. De autocorrelatiefunctie van de tweede orde meten g (2) (τ ), werd de QD-spectraallijnluminescentie verzonden naar een vezelgekoppelde Hanbury-Brown en Twiss (HBT)-opstelling [20] en gedetecteerd door twee InGaAs-lawine-modules voor het tellen van één foton (IDQ 230; tijdresolutie, 200 ps; donkere telsnelheid , ~80 counts/s; dode tijd, 30 μs) en een tijdtoevalstelmodule.

Resultaten en discussie

Figuur 1a, b toont AFM-afbeeldingen van BQD's die zijn gekweekt bij respectievelijk 480 en 470 °C. Voor een monster van 480 °C hebben de BQD's een gemiddelde diameter van 61 nm en een hoogte van ongeveer 10 nm. Voor een monster van 470 °C is de gemiddelde diameter 75 nm en de hoogte 13 nm, groter en groter dan bij 480 °C. De lagere temperatuur draagt ​​bij aan de grotere QD-grootte en beeldverhouding [21]. Om de efficiëntie van het verzamelen van fotonen te verbeteren, werden de BQD's ingebed in een λ -dikke GaAs-holte en ingeklemd tussen 25,5 onderste en 8 bovenste DBR-stapels. Ze zijn allemaal hetzelfde voor de twee monsters, behalve de groeitemperatuur van BQD's. Zoals te zien is in figuur 1c, zijn de helderste BQD's in de twee monsters die we hebben waargenomen behoorlijk verschillend in het PL-spectrum. De PL-intensiteit was sterk verbeterd bij de lagere groeitemperatuur, wat kan worden toegeschreven aan de verminderde spanningsrelaxatie en dislocatie rond BQD's [21]. Afbeelding 1d toont het gemeten reflectiviteitsspectrum van de onderste DBR, met een waarde van ongeveer 99% bij een bereik van 1310-1380 nm, wat een goede spiegel aantoont om QD-emissie te reflecteren.

1 × 1 μm 2 atomic force microscopie (AFM) afbeelding van niet-afgetopte BQD's gegroeid op a 480 en b 470 °C. c μPL-spectra van BQD's ingebed in DBR-holtes, gekweekt bij 480 °C (rood ) en 470 °C (zwart ), gemeten bij 4 K. d Reflectiviteitsspectrum van de onderste DBR, gemeten bij kamertemperatuur

Afbeelding 2 toont het SEM-beeld van de micropijler en de μPL-spectra van een typische BQD die erin is ingebed. Figuur 2d toont de μPL-spectra als functie van de temperatuur. De emissie van de BQD bereikt zijn maximale intensiteit bij 30 K, wat een holteresonantie suggereert; zie ook Fig. 2c. De kwaliteitsfactor (Q) van de micropijlerholte wordt geschat op ongeveer 361. De lage Q wordt toegeschreven aan de kleine reflectiviteitsverschuiving tussen GaAs en Al0,9 Ga0.1 Net als bij de telecomgolflengte, werden hier minder DBR-paren gebruikt dan de conventionele DBR's die zijn gekoppeld aan QD's die uitzenden op <1 μm [12, 22].

een SEM-afbeelding van de micropijlerstructuur (diameter ~ 3 m). b Typisch PL-spectrum van een enkele BQD in micropilaar bij 4 K. d Temperatuurafhankelijke μPL-spectra van een typische BQD in micropillar en c de geïntegreerde PL-intensiteit als een functie van de ontstemming van de excitonholte onder excitatievermogen ~2 μW, rode lijn :Lorentziaanse fitting

De excitatievermogensafhankelijke μPL-spectra van InAs / GaAs BQD's in een micropilaar werden bestudeerd met behulp van een continue golf (cw) He-Ne-laser voor excitatie boven de band, zoals figuur 3a laat zien. Ze tonen de excitonlijn (X) bij 1325,6 nm en de geladen excitonlijn (X*) bij 1327,1 nm. De identificatie van deze emissielijnen wordt ondersteund door hun verschillende vermogensafhankelijkheden. In figuur 3b vertoonde de geïntegreerde PL-intensiteit van X-lijn bij 1325,6 nm een ​​lineaire afhankelijkheid van het excitatievermogen in het gebied met laag vermogen en verzadigd bij een hoog excitatievermogen. De ononderbroken lijnen passen lineair bij de gegevens in een dubbellogaritmische grafiek. De X*-lijn bij 1327,1 nm toont een niet-verzadigde afhankelijkheid van excitatievermogen [23]. De gevolgde onderzoeken werden uitgevoerd op de X-lijn.

een Excitatievermogensafhankelijke μPL-spectra (T = 4 K) van typische BQD's in micropijler. b Geïntegreerde PL-intensiteit van exciton (X) en geladen exciton (X*) als functie van excitatievermogen in een log-log schaal. Gekleurde lijnen :lineaire aanpassing van de experimentele gegevens

De tijdsopgeloste PL-metingen werden uitgevoerd om de Purcell-verbetering te bepalen. Het spontane emissieverval van de BQD X-lijn bij QD-holteresonantie en bij verre ontstemming wordt getoond in figuur 4a. De ingebouwde stralingslevensduur is 0,66 ns voor resonantie en 1,25 ns voor verre ontstemming, wat overeenkomt met een Purcell-verbeteringsfactor van 1,9. Om de enkelvoudige fotonenemissie van de X-lijn bij 1325,6 nm te bevestigen, hebben we de tweede-orde-correlatiefunctie g gemeten. (2) (τ ) met een HBT-opstelling onder cw-citatie en verzadigde pulsexcitatie. Afbeelding 4b toont de gemeten tweede-orde-correlatiefunctie van de X-lijn als functie van de vertragingstijd τ onder cw excitatie. De gegevens kunnen worden voorzien van de volgende uitdrukking:g (2) (τ ) = 1 − [1 − g (2) (0)]exp(−|τ |/T ) [24]. Het passen resulteert in g 2 (0) = 0.14, wat een enkele-foton-emitter bewijst met een sterke onderdrukking van de multi-foton-emissie zonder tijdsvertraging. De op de detectoren gemeten telsnelheid wordt weergegeven in Fig. 4c, als functie van het pompvermogen. Het vertoont een lineaire afhankelijkheid in het zwakke pompregime en raakt verzadigd in het sterke pompregime. Bij verzadiging is de telsnelheid ongeveer 62.000 counts/s van twee InGaAs-single-photon-detectoren, inclusief de donkere counts van de twee detectoren. Om het overeenkomstige aantal fotonen dat in de eerste lens is verzameld af te leiden, kalibreren we al het optische verlies met behulp van een cw-laser op 1320 nm. Transmissieverlies inclusief microscoopobjectief, langdoorlaatfilter, spiegels en lens en de efficiëntie van monochromator, lens en connectoren tussen vezels was 10,46 dB. De detectie-efficiëntie en donkertellingssnelheid van de InGaAs-detector met dode tijden van 30 μs zijn respectievelijk 18% en ~150 tellingen/sec. Gebaseerd op de telsnelheid op InGaAs-single-fotondetectoren en gecorrigeerde fotontellingssnelheid met de factor [1−g (2) (0)] 1/2 [25], schatten we dat de netto detectiesnelheid van één foton na compensatie van de bijdrage van multi-fotonenemissie en donkertellingssnelheid 3,45 × 10 6 is telt/s bij het verzadigde pompvermogen bij de eerste objectieflens. Om de fotonextractie-efficiëntie van de micropijlerstructuur te evalueren, werd ook de meting onder gepulseerde excitatie uitgevoerd. In figuur 4d, e, zien we een telsnelheid van 48.000/s op de enkel-fotondetectoren bij het verzadigde pompvermogen met g 2 (0) = 0,19, laserexcitatie met een herhalingssnelheid van minder dan 80 MHz, wat een fotonenextractie-efficiëntie van 3,3% oplevert na compensatie van de bijdrage van multi-fotonenemissie en rekening houdend met de efficiëntie van de detectie-opstelling. Naar onze mening, vanwege het niet-resonante excitatieproces [12, 26] en de lage detectie-efficiëntie en lange dode tijd van de InGaAs-detector, kan de waargenomen telsnelheid van afzonderlijke fotonen worden onderschat.

een Tijdsopgeloste metingen op (witte cirkel ) en uit (zwarte cirkel ) resonant van de X-lijn in micropilaar, die een Purcell-factor van F onthullen p = 1.9. b , d Tweede-orde correlatiefunctie g (2) (τ ) voor de X-lijn onder cw-excitatie en 80 MHz-pulslaserexcitatie bij verzadigd pompvermogen. c , e Pompvermogensafhankelijke PL-intensiteit van excitonpiek bij 1325,6 nm onder respectievelijk cw en pulsexcitatie. De zwarte cirkels in c en e geven de telsnelheid aan die is geregistreerd bij de InGaAs-detectoren

Conclusies

Concluderend hebben we een heldere enkelvoudige fotonbron bij 1325,6 nm gepresenteerd door gebruik te maken van een enkele rekgekoppelde dubbellaagse InAs/GaAs QD in een micropijler Al0,9 Ga0.1 As/GaAs DBR-holte. De emissie van één foton is echt verbeterd door de QD-groeitemperatuur te optimaliseren en de micropijlerstructuur te fabriceren. De gedetecteerde single-photon rate bereikt 62.000 counts/s, wat overeenkomt met een single-photon emissiesnelheid van 3,45 MHz bij de eerste objectieflens. De efficiëntie van fotonenextractie wordt geschat op ongeveer 3,3%, met een Q ~300 micropillar-holte. De autocorrelatiemeting van de tweede orde met InGaAs-modules voor het tellen van één foton leverde g op (2) (0) = 0.14, wat de emissie van één fotonen aantoont, zelfs bij een hoge telsnelheid. Dit is de eerste keer dat een zo hoge mate van enkelvoudige fotonenemissie in de telecomband wordt gerapporteerd door gebruik te maken van een enkele InAs/GaAs dubbellaagse QD.

Afkortingen

AFM:

Atoomkrachtmicroscopie

BQD:

Dubbellaagse QD

cw:

Continue golf

DBR's:

Gedistribueerde Bragg-reflectoren

HBT:

Hanbury-Brown en Twiss

ICP:

Inductief gekoppeld plasma

MBE:

Moleculaire bundelepitaxie

QD's:

Kwantumstippen

SEM:

Scanning elektronenmicroscoop

SPS'en:

Single-photon bronnen

TCSPC:

Tijd-gecorreleerde enkel-foton tellen

μPL:

Microfotoluminescentie


Nanomaterialen

  1. Meerkleurige emissie van op ultraviolet GaN gebaseerde fotonische quasicrystal nanopiramidestructuur met semipolaire InxGa1−xN/GaN meerdere kwantumbronnen
  2. S, N co-gedoteerde grafeen Quantum Dot/TiO2-composieten voor efficiënte fotokatalytische waterstofgeneratie
  3. Het detecteren van ruimtelijk gelokaliseerde excitatie in zelfgeorganiseerde InAs/InGaAs Quantum Dot Superroosters:een manier om de fotovoltaïsche efficiëntie te verbeteren
  4. Bipolaire effecten in fotovoltage van metamorfe InAs/InGaAs/GaAs Quantum Dot heterostructuren:karakterisering en ontwerpoplossingen voor lichtgevoelige apparaten
  5. Omkeerbare elektrochemische controle over foto-excited luminescentie van Core/Shell CdSe/ZnS Quantum Dot Film
  6. Fotovoltaïsche prestaties van een Nanowire/Quantum Dot Hybrid Nanostructure Array Zonnecel
  7. Eliminatie van bimodale grootte in InAs/GaAs Quantum Dots voor de voorbereiding van 1,3-μm Quantum Dot Lasers
  8. Stimulatie van met cysteïne gecoate CdSe/ZnS Quantum Dot Luminescentie door meso-Tetrakis (p-sulfonato-fenyl) porfyrine
  9. Interband fotogeleiding van metamorfe InAs/InGaAs Quantum Dots in het venster van 1,3–1,55 µm
  10. Ontwerp van door spanning ontworpen GeSn/GeSiSn Quantum Dots voor Mid-IR Direct Bandgap Emission op Si-substraat
  11. Dual-Emissive en Color-Tunable Mn-Doped InP/ZnS Quantum Dots via een groei-dopingmethode