ISMI biedt software voor het bijhouden van de prestaties van apparatuurbetrouwbaarheid

International SEMATECH Manufacturing Initiative (ISMI) heeft zijn betrouwbaarheids-, beschikbaarheids- en onderhoudbaarheidscalculator (RAMCalc) vrijgegeven, een webgebaseerde applicatie die RAM-statistieken vastlegt en berekent, op apparatuur-, module- en waferniveau, voor SEMI E10-conforme rapportage. ISMI's RAMCalc stelt apparatuur-, industriële en onderhoudstechnici in staat om RAM-statistieken te berekenen, zoals gemiddelde tijd tussen storingen, gemiddelde reparatietijd, gemiddelde tijd offline en beschikbaarheid voor single-path en complexe multi-path clustertools.

De basis RAMCalc met één pad, die gratis beschikbaar is voor het publiek, berekent de prestaties van eenkamer- of niet-geclusterde productieapparatuur. Naast de single-path rekenmachine, maakt een multi-path-versie van RAMCalc het mogelijk om complexe multi-path clustertoolapparatuur te volgen.

"De ontwikkeling van een robuuste oplossing voor gegevensverzameling voor het testen van apparatuurdemonstraties is van cruciaal belang", zegt Lorn Christal, ISMI-projectmanager. "ISMI's rol in een demonstratietest van apparatuur is het leveren van nauwkeurige prestatiestatistieken die zijn geformuleerd op basis van gestandaardiseerde gegevensverzamelingsmechanismen."

Algoritmen die in RAMCalc worden gebruikt, kunnen onafhankelijk worden geladen op fantastische tools om automatisch RAM-statistieken te genereren die consistent zijn met SEMI E10. Volgens Jo Beekman, co-projectmanager:“RAMCalc is flexibel. Het genereert momenteel statistieken die consistent zijn met SEMI E10, maar met behulp van een andere set toestanden kan het worden aangepast aan andere statistieken, zoals die met betrekking tot de productiviteit van apparatuur, of het kan worden gebruikt om metrieken te genereren voor staten die nog moeten worden gedefinieerd. "

SEMI E10 is een bekende industriestandaard voor de betrouwbaarheid van meetapparatuur van halfgeleiderproductieapparatuur. SEMI E10 legt een gemeenschappelijke basis voor communicatie tussen gebruikers en leveranciers van halfgeleiderapparatuur door normen te bieden voor het meten van RAM-prestaties van die apparatuur in een productieomgeving. Een stemming over de herziening van de SEMI E10-standaard wordt later dit jaar verwacht. De stemming zal proberen de berekening van RAM-statistieken voor multi-path clustertoolapparatuur te formaliseren. ISMI's RAMCalc is ontworpen om te voldoen aan de opkomende stemming.

De RAMCalc-broncode is beschikbaar via ISMI's Collaborative Application Development Environment (CAde). CADe is een 'community source'-programma voor het delen van codes dat gratis beschikbaar is voor ISMI-leden en op een tegenprestatie voor bedrijven die geen lid zijn.

ISMI zal op het ISMI-symposium op 1 november 2010 een introductie geven over het gebruik van RAMCalc om de prestaties van apparatuur te volgen of te benchmarken in situaties met marathontests en productieomgevingen met grote volumes. tools en multi-path cluster tools, en laat zien hoe RAMCalc in elk van deze situaties kan worden gebruikt.

De basis-RAMCalc-toepassing is beschikbaar op de openbare website van ISMI op http://ismi.sematech.org/industry/ramcalc/index.htm. Neem voor meer informatie contact op met Johannes Beekman, [email protected], of Lorn Christal, [email protected].

Over ISMI
ISMI is een wereldwijde alliantie van 's werelds grootste halfgeleiderfabrikanten, gericht op het verlagen van de kosten per wafer en uiteindelijk de kosten per die, door middel van samenwerkingsprogramma's gericht op de effectiviteit van de productie. ISMI is een volledige dochteronderneming van SEMATECH, www.sematech.org.