Hoogzuiver wolfraamdoel voor halfgeleiderchips

Wat de huidige hete halfgeleiderchips betreft, kan de nieuwe wolfraamoxidefilm dienen als diffusiebarrière, een hechtlaag en grootschalige geheugenelektrode voor geïntegreerde schakelingen, enz. ., wat de algehele kwaliteit van chipproducten aanzienlijk kan verbeteren.

Hoe produceren zeer zuivere wolfraamdoelen wolfraamoxidefilms? Sputteren is een van de belangrijkste technieken voor het bereiden van dunne-filmmaterialen van wolfraamoxide. Het bombardeert wolfraamdoelen met snelle ionen en de gegenereerde atomen worden uitgezonden en verzameld op het oppervlak van het substraat om een ​​coating te vormen. De wolfraamoxidefilm geproduceerd door de doelsputterdepositiemethode heeft de voordelen van een hoge dichtheid, goede hechting en goede corrosieweerstand, dus het is geschikt voor gebruik in halfgeleiderchips.

Hoe maak je het wolfraamdoel?

Allereerst het wolfraampoeder wordt in de huls geplaatst en geëvacueerd, en het wolfraampoeder in de huls wordt voor de eerste keer verdicht door het koude isostatische persproces om de eerste wolfraamdoelwit te vormen. Na de eerste verdichtingsbehandeling wordt het omhulsel verwijderd, en wordt de eerste wolfraamdoelwit aan een tweede verdichtingsbehandeling onderworpen met behulp van een inductiesinterproces om een ​​tweede wolfraamdoelwit te vormen. Na de tweede verdichtingsbehandeling wordt de tweede wolfraamdoelwit onderworpen aan een derde verdichtingsbehandeling met behulp van een heet isostatisch persproces om een ​​wolfraamdoelwit te vormen.

Het door de methode geproduceerde wolfraamdoel heeft de kenmerken van hoge dichtheid, laag onzuiverheidsgehalte, sterke mechanische stabiliteit, goede uniformiteit van de interne structuur en grote kristalkorrelgrootte, die kan beter voldoen aan de eisen van moderne sputterprocessen.

Conclusie 

Bedankt voor het lezen van ons artikel en we hopen dat het je kan helpen om het zeer zuivere wolfraamdoel beter te begrijpen. Als u meer wilt weten over het vuurvaste metaal wolfraam, raden we u aan om Advanced Refractory Metals (ARM) te bezoeken. voor meer informatie.

Het hoofdkantoor is gevestigd in Lake Forest, Californië, VS, Advanced Refractory Metals (ARM)  is een toonaangevende fabrikant en leverancier van vuurvaste metalen en legeringen over de hele wereld. Het biedt klanten hoogwaardige vuurvaste metalen en legeringen zoals niobium ,  molybdeen, tantaal, rhenium , wolfraam, titanium,  en  zirkonium tegen een zeer concurrerende prijs.