Elektrische eigenschappen van dubbelzijdige polymeer oppervlak nanostructuren
Abstract
In deze studie worden dubbelzijdige nanostructuren van polymeeroppervlakken gefabriceerd met behulp van tweemaal nano-imprintlithografie en metaaldepositietechniek. We voeren elektrische eigenschapsmetingen uit op deze dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren. Open-circuitspanning en kortsluitstroom van de voorbereide monsters met dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren en geleidende elektrode worden geregistreerd met behulp van een oscilloscoop met toepassing van verschillende externe krachten. De metingen worden uitgevoerd bij kamertemperatuur. We vinden dat de intensiteit van de nullastspanning en kortsluitstroom voor de dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren sterk afhangt van de afmetingen, vormen en rangschikkingen van nanostructuren en drukkracht. De sterkste elektrische eigenschap kan worden waargenomen in de hexagon-nanopillar-arrays met een diameter van ongeveer 400 nm die scherpe structuren met een resolutie van minder dan 50 nm bevatten met een kracht van ongeveer 40 N. We bespreken de fysieke mechanismen die verantwoordelijk zijn voor deze interessante onderzoeksresultaten. De experimentele resultaten die we bestuderen zijn relevant voor de toepassingen van dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren zoals een nanogenerator, druksensoren en nano-opto-elektronische apparaten.
Achtergrond
Nanostructuren op oppervlakken trekken veel belangstelling als efficiënte media voor oppervlakteversterkte Raman-verstrooiing (SERS), oppervlakteplasmonresonantie, niet-lineaire optische en elektrische respons en plasmonische excitatie zoals nanodeeltjes, nanograting en nanopillars, met name nanostructuren van metalen oppervlakken [1,2 ,3,4,5], die potentiële toepassingen hebben als elektronische, magnetische, fotonische, opto-elektronische en sensorapparaten [6,7,8,9,10]. Vanuit een natuurkundig oogpunt verschillen de fysieke basiseigenschappen van oppervlaktenanostructuren aanzienlijk van die van bulkmaterialen met dezelfde componenten. In het bijzonder kunnen oppervlakte-effecten worden waargenomen in de oppervlakte-nanostructuren. Daarom zijn oppervlaktenanostructuren een belangrijk aandachtspunt geweest in het onderzoek naar oppervlaktematerialen, die kunnen worden beschouwd als een fundamentele bouwsteen van nanotechnologie en nanodevices. Opgemerkt moet worden dat nanostructuren van polymeeroppervlakken unieke opto-elektronische en elektrische eigenschappen hebben getoond vanwege het tribo-elektrische effect dat elektrostatische inductie is die optreedt in polymeermaterialen [11,12,13]. Structuren op nanoschaal verhogen de oppervlakteruwheid en het contactwrijvingsgebied om het tribo-elektrische effect te versterken, met name dubbelzijdige oppervlaktestructuren. Het tribo-elektrische effect in oppervlakte-nanostructuren kan het genereren van grote elektrische ladingen veroorzaken, die stroom kunnen verkrijgen door elektroden en draden aan te sluiten. Het tribo-elektrisch effect in nanostructuren van polymeeroppervlakken en aanverwante verschijnselen draagt in hoge mate bij aan hun veelbelovende toepassingen in nanogeneratoren, druk- en temperatuursensoren en andere elektronische apparaten [14,15,16,17]. De nanogeneratoren kunnen mechanische energie omzetten in elektrische energie en de druk- of temperatuursensoren kunnen verschillende druk of temperatuur omzetten in detecteerbare elektrische of optische signalen.
Door de snelle ontwikkeling van nanotechnologie is het nu gemakkelijk om periodieke en complexe ongeordende oppervlaktenanostructuren te fabriceren, bijvoorbeeld fotolithografie, nano-imprintlithografie (NIL), zelfassemblage en interferentielithografie [18,19,20,21,22]. Als een populaire replicatie-nanotechnologie is NIL eenvoudig, goedkoop, met een hoge resolutie en met een hoge doorvoer, wat ideaal is voor het fabriceren van polymeer nanostructuren [23,24,25]. Een groot voordeel om oppervlaktenanostructuren toe te passen als elektronische apparaten is dat de elektrische respons van de oppervlaktenanostructuren kan worden afgestemd en gemoduleerd via verschillende structuurparameters zoals diameter, vorm en rangschikking van nanostructuren. Daarom is het van belang om de elektrische basiseigenschappen van oppervlaktenanostructuren te onderzoeken.
In dit artikel presenteren we een gedetailleerd experimenteel onderzoek naar de elektrische eigenschappen van twee soorten dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren, zoals roosters en nanopillar-arrays. De dubbelzijdige nanostructuren van het polymeeroppervlak zijn vervaardigd met behulp van een tweemaal NIL-proces. Omdat de nanostructuren op twee zijvlakken niet uitgelijnd hoeven te worden, is het afdrukproces eenvoudig en goedkoop. De geleidende elektrode voor het meten van elektrische signalen wordt geprepareerd door de metaaldepositietechniek, zoals indiumtinoxide (ITO) of Ag-film. We willen onderzoeken hoe deze oppervlakte-nanostructuren kunnen reageren op externe druk, hoe hun elektrische eigenschappen afhangen van de parameters van het monster en hoe de nullastspanning en kortsluitstroom van de voorbereide monsters veranderen.
Methoden
Voorbeelden
In deze studie worden twee soorten te meten oppervlakte-nanostructuren gefabriceerd, zoals roosters en nanopillar-arrays, en de scanning-elektronenmicroscopie (SEM) -beelden worden getoond in Fig. 1. De periode van het rooster is ongeveer 300 nm, de breedte is ongeveer 160 nm, en de diameter van de nanopijler is ongeveer 300 nm.
SEM-afbeeldingen van twee soorten oppervlakte-nanostructuren. Een rooster (a ) en een nanopillar-array (b ) worden weergegeven
De voorbereide monsters met dubbelzijdige oppervlaktestructuren worden vervaardigd door tweemaal UV-uithardende NIL te combineren, en de geleidende elektrodelaag tussen de dubbelzijdige structuren wordt bereid door elektrodepositie van ITO-film. Het schema van de dubbelzijdige polymeer nanostructuren is weergegeven in Fig. 2. De dubbelzijdige structuurmaterialen zijn polydimethylsiloxaan (PDMS) en Kapton die elastische materialen zijn. De tussenlaag is een dunne ITO-film; het geïntegreerde apparaat is dus flexibel. Het elektriciteitssignaal wordt gegenereerd door het koppelingseffect van contactelektrificatie en elektrostatische inductie tijdens contact-drukscheiding, wat het principe is van het meten van elektrische eigenschappen van de dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren.
Schema van de dubbelzijdige polymeer nanostructuren
Wanneer vervormd door een extern aangeraakte mechanische drukvervorming door andere materialen, worden tribo-elektrische ladingen gegenereerd en verdeeld over de polymeeroppervlakken. Zodra de vervorming begint los te laten, worden de extern aangeraakte materialen gescheiden met het polymeeroppervlak. Deze tribo-elektrische ladingen kunnen niet worden gecompenseerd, wat leidt tot het induceren van tegengestelde ladingen op de ITO-elektrode om vrije elektronen aan te drijven om van de ITO-elektrode naar het externe circuit te stromen. Dit elektrostatische inductieproces kan een uitgangsspanning/stroomsignaal geven.
Meetmethode
Voor het meten van elektrische eigenschappen van drie soorten oppervlakte-nanostructuren met verschillende afmetingen, patronen en rangschikkingen, worden de metingen uitgevoerd onder de externe kracht binnen 0,5 ~ 50 N bij kamertemperatuur in Fig. 3. De elektrische eigenschappen worden vastgelegd met behulp van de instelbare lineaire motor (E1100-RS-HC), stroom- en spanningstestapparaat (Keithley 6514), geluidsarme versterker (Stanford SR570) en oscilloscoop (MDO 3014). De krachtverandering wordt bereikt in de instelbare lineaire motor en de oscilloscoop kan de spannings- en stroomcurve meten. De opstelling van het experiment die drukkracht uitoefent op de oppervlakken van de monsters wordt getoond in Fig. 3.
Foto van experimentopstelling die externe kracht toepast
Resultaten en discussie
De elektrische eigenschappen voor verschillende oppervlakte-nanostructuren worden getoond in Fig. 4 bij verschillende externe drukkracht. De uitgangsspanning en kortsluitstroom van de rooster- en nanopillar-arrays worden getoond in Fig. 4. Zoals te zien is, hangt de intensiteit van elektrische eigenschappen in oppervlaktenanostructuren sterk af van de drukkracht. En een soortgelijk fenomeen kan worden gevonden voor de roosters en nanopillar-arrays. De nullastspanning en kortsluitstroomveranderingen met de drukkracht binnen 10 s worden gemeten. De meetresultaten geven aan dat de elektrische eigenschappen voor roosters en nanopillar-arrays verschillende krachtafhankelijkheid vertonen. De nullastspanning van de roosterstructuur neemt langzaam toe met de kracht, maar de kortsluitstroom neemt duidelijk toe met de kracht, zoals weergegeven in Fig. 4a en b. Daarentegen zijn de elektrische eigenschappen van de nanopillar-arrays beter, omdat zowel de nullastspanning als de kortsluitstroom aanzienlijk toenemen met de drukkracht gedurende dezelfde tijd, zoals weergegeven in figuur 4c en d. De nullastspanning verandert echter niet wanneer de kracht toeneemt van 30,5 N naar 42,6 N, maar de kortsluitstroom neemt nog steeds toe. Daarom laten de experimentele resultaten zien dat de gecompliceerde tweedimensionale nanopilaren betere elektrische prestaties hebben dan eendimensionale roosterstructuren.
De elektrische eigenschappen voor oppervlaktenanostructuren. De resultaten voor raspen (a , b ) en een nanopillar-array (c , d ) worden weergegeven
Om de elektrische eigenschappen van nanopijler-arrays verder te analyseren, worden verschillende rangschikkingen en vormen van nanopijlers gemeten, zoals willekeurig, vierkant en hexagonaal, en de SEM-afbeeldingen van verschillende nanopijler-arrays worden getoond in Fig. 5. De nanopijlers met willekeurige en vierkante rangschikking zijn schaars verdeeld in Fig. 5a en b, en de diameters van cirkelvormige nanopilaren zijn respectievelijk ongeveer 300 nm en 400 nm. De hexagonale opstelling en vorm van nanopilaren met een diameter van ongeveer 400 nm zijn dicht op elkaar gepakt in Fig. 5 c. De vergroting van één segment van nanopijlers met zeshoekige rangschikking wordt getoond in figuur 5d. Er is een scherpe punt aan de bovenkant van de nanopijler en een nanogap met een resolutie van minder dan 50 nm tussen de nanopijlers, die vergelijkbaar is met de piramidefunctie op nanoschaal.
SEM-afbeeldingen van drie nanopillar-arrays. Willekeurig (a ) en vierkante opstelling (b ) ronde nanopijlers, hexagonale rangschikking en vorm nanopijlerarrays (c ), en vergrotingsafbeelding van zeshoekige nanopilaren (d ) worden weergegeven
De elektrische prestatiecurven met de kracht voor de verschillende nanopijlersmonsters worden getoond in Fig. 6. De zwarte, rode en blauwe curven vertegenwoordigen respectievelijk de vierkante, willekeurige en hexagonale nanopijlers. De resultaten geven aan dat de nullastspanning en kortsluitstroom voor drie soorten nanopilaren snel toenemen met de drukkracht. Daarentegen vertonen de hexagonale rangschikking en vorm van nanopillar-arrays de sterkste toename (blauwe curve) en zijn de elektrische eigenschappen de beste. Wanneer de kracht minder is dan 20 N en 25 N, zijn de nullastspanning en kortsluitstroom van de willekeurige nanopilaren (rode curve) meer dan die van vierkante nanopillar-arrays (zwarte curve), en de situatie is in ruil daarvoor als de kracht blijft toenemen. Een belangrijke reden is dat de zeshoekige opstelling maximale oppervlakteruwheid en wrijvingscontactgebied kan bieden, dat scherpe punten en openingen met een hogere resolutie (sub-50 nm) bevat die vergelijkbaar zijn met de piramidefunctie. Hier verschilt de oppervlakteruwheid van de parameter voor de karakterisering van de gladheid van het wafeloppervlak, die voornamelijk afhangt van de grootte van het kenmerk. Hoewel de diameter van de zeshoekige nanopilaren vergelijkbaar is met die van andere, vergroten de openingen van minder dan 50 nm, scherpe randen en hoeken de oppervlaktewrijvingsruwheid en het contactoppervlak om het elektrische vermogen te vergroten. We vinden dat wanneer de kracht groter is dan 35 N, de spanningscurven bij open circuit vloeiend worden, zoals weergegeven in figuur 6a, maar de kortsluitstroom voor drie soorten nanopilaren neemt nog steeds toe, zoals weergegeven in figuur 6b. Dit geeft aan dat de elektrische eigenschappen blijven toenemen met de kracht, en de toename zal zacht worden wanneer de kracht meer dan ongeveer 40 N is.
De elektrische eigenschappen voor drie soorten nanopillar-arrays, zoals nullastspanning (a ) en kortsluitstroom (b )
De experimentele resultaten tonen aan dat de externe drukkracht van ongeveer 40 N een geschikte kracht is voor de hexagon-nanopillar-arrays om elektrische eigenschappen te verbeteren, omdat te veel drukkracht de nanostructuurmonsters kan vernietigen. Dit onderzoek kan een basis vormen voor verder onderzoek naar andere elektrische of optische eigenschappen.
In dit artikel worden de monsters met dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren gemeten. Het meetmechanisme van de elektrische eigenschappen van oppervlakte-nanostructuren geeft aan dat de dubbelzijdige oppervlakte-nanostructuren betere elektrische prestaties vertonen.
Conclusies
In deze studie zijn dubbelzijdige polymeerroosters en nanopillar-arrays gefabriceerd met behulp van ultramoderne nanotechnologie. De metingen van de elektrische eigenschappen op deze oppervlakte-nanostructuren zijn uitgevoerd met externe kracht bij kamertemperatuur. We hebben ontdekt dat het elektrische signaal van deze monsters sterk afhangt van kracht- en structuurrangschikkingen en vormen. In het bijzonder kan het sterkste elektrische signaal worden waargenomen in de hexagon-nanopillar-arrays met een diameter van ongeveer 400 nm die scherpe structuren met een resolutie van minder dan 50 nm bevatten in vergelijking met andere monsters. En de juiste kracht voor het meten van elektrische eigenschappen is ongeveer 40 N. Deze resultaten geven aan dat de elektrische eigenschappen oppervlakte-nanostructuren kunnen aansturen voor toepassingen in druksensoren, nanogeneratoren en elektronische apparaten. We hopen dat de interessante experimentele bevinding van deze studie een diepgaand begrip kan opleveren van de elektrische eigenschappen van roosters en nanopilaren met verschillende opstellingen.
Beschikbaarheid van gegevens en materialen
Alle gegevens die tijdens dit onderzoek zijn gegenereerd of geanalyseerd, zijn opgenomen in dit gepubliceerde artikel [en de aanvullende informatiebestanden].
Afkortingen
- ITO:
-
Indiumtinoxide
- NIL:
-
Nano-imprintlithografie
- PDMS:
-
Polydimethylsiloxaan
- SEM:
-
Scanning elektronenmicroscopie
- SERS:
-
Oppervlakteverbeterde Raman-verstrooiing
Nanomaterialen
- Rekenkundige eigenschappen
- Halfgeleider nanodeeltjes
- 3D-DNA-nanostructuren
- Analyse van actine en focale adhesieorganisatie in U2OS-cellen op polymeernanostructuren
- De elektrische eigenschappen van hybride composieten op basis van meerwandige koolstofnanobuisjes met grafiet-nanoplaatjes
- Synthese van elektrisch geleidende silica nanovezel/gouden nanodeeltjescomposiet door laserpulsen en sputtertechniek
- Optische en elektrische kenmerken van silicium nanodraden bereid door stroomloos etsen
- Vorming en lichtgevende eigenschappen van Al2O3:SiOC-nanocomposieten op basis van aluminiumoxide-nanodeeltjes gemodificeerd door fenyltrimethoxysilaan
- Paramagnetische eigenschappen van van fullereen afgeleide nanomaterialen en hun polymeercomposieten:drastisch uitpompeffect
- C# - Eigenschappen
- Eigenschappen van hout