Lab-on-chip stroom- en temperatuursensor

NASA Goddard Space Flight Center heeft een sensor ontwikkeld voor microanalytische systemen die in realtime de stroomsnelheid en temperatuur meet van de vloeistof die wordt bemonsterd. Huidige sensoren leiden de vloeistof om naar gescheiden temperatuur- en stroomsensoren, wat kan leiden tot vloeistoflekkage en de noodzaak van een groter initieel monster. Dit ontwerp elimineert die afleiding. De systeemsensoren meten stroomsnelheden in het nanoliter-per-minuutbereik en temperaturen van meer dan 150 °C tot onder -80 °C.

De sensoren in dit systeem zijn omhuld met siliciumnitride (SiN) om ze elektrisch te isoleren van de vloeistofstroom en worden in het midden van het kanaal opgehangen om hun gevoeligheid en responstijd te maximaliseren. De temperatuursensoren worden gebruikt als onderdeel van het ontwerp van de flowsensor. De temperatuursensor voor (vóór) de verwarmer geeft de initiële temperatuurwaarde voor de vloeistof. De sensor achter (na) de kachel meet hoeveel warmte de kachel in de vloeistof kon injecteren. Door de thermische geleidbaarheid en de warmtecapaciteit van de vloeistof te kennen, naast het vermogen in de weerstand en de verandering in temperatuur, kan de stroomsnelheid van de vloeistof worden berekend.

De sensoren zijn gefabriceerd op een silicium (Si) wafer waarin een microkanaal is geëtst. Een opofferingslaag wordt op de Si-wafel afgezet om de kanalen op te vullen; dit zorgt voor een vlak oppervlak om de sensoren te fabriceren.

NASA is actief op zoek naar licentiehouders om deze technologie te commercialiseren. Neem contact op met NASA's Licensing Concierge via Dit e-mailadres wordt beveiligd tegen spambots. U heeft Javascript nodig om het te kunnen zien. of bel ons op 202-358-7432 om licentiebesprekingen te starten. Volg deze link voor meer informatie:https://technology.nasa.gov/patent/GSC-TOPS-159 .