Semitron® MPR1000 voor de halfgeleiderindustrie

Semitron® MPR1000 is een nieuw technisch materiaal ontwikkeld door Mitsuibishi Chemical Advanced Materials voor halfgeleidertoepassingen. MPR staat voor maximale plasmaweerstand. Het is bedoeld voor gebruik in vacuüm plasmakamers ter vervanging van keramiek en kwarts voor ICU-productie. Keramiek is duurder en kwarts is vatbaar voor breuk. Het presteert ook beter in deze toepassing dan PEEK, PAI zoals Torlon® of polyimide thermoplasten. MRP1000 heeft bijvoorbeeld een langere levensduur in plasmakamers tot 25x in ozon dan polyimiden zoals Vespel®.

Onderdelen gemaakt van MPR1000 zijn onder andere schroeven, zeskantmoeren, platte ringen, klemringen, geulringen, pennen en douchekoppen, evenals centreerpennen, focusringen, isolatoren, vacuümkussens, wafelgeleiders en veel aangepaste onderdelen.

Voordelen van Semitron® MPR1000

Uitstekende hittebestendigheid

Lage erosiesnelheid in plasmakamers

Laag ionengehalte en lage uitgassen

Uitstekende spaanweerstand

Uitstekende duurzaamheid

Gemakkelijk te bewerken

Goedkoopste plastic materiaal dat ook de beste prestaties levert in plasmakamers 

Wat is plasma?

Plasma wordt vaak beschreven als de vierde toestand van materie, omdat het noch een vloeistof, noch een gas, noch een vaste stof is. Het bestaat in de vorm van ionen en elektronen. In wezen is plasma een geïoniseerd gas dat geëlektrificeerd is met extra elektronen, zowel negatieve als positieve. Hoewel er elders in het heelal plasma bestaat, is er hier op aarde weinig dat van nature voorkomt. Voorbeelden van plasma op onze planeet zijn bliksem, statische elektriciteit en poollicht.

Waarom een ​​oppervlak behandelen met plasma?

Plasmabehandeling van het oppervlak van een siliciumwafel wordt meestal gedaan voor reiniging, oppervlakteactivering, afzetting en etsen. Door oppervlakken met plasma te behandelen, worden eventuele vreemde verontreinigingen verwijderd, waardoor ze geschikter zijn voor verdere verwerking.

Plasmabehandeling van een oppervlak wordt meestal gedaan in een kamer waaruit de lucht is geëvacueerd. Een gas stroomt dan onder lage druk de kamer in. Gewoonlijk wordt industriële zuurstof als procesgas gebruikt, vandaar de algemeen bekende uitdrukking "zuurstofrijk plasma". Maar ook stikstof, argon, waterstof en koolstoftetrafluormethaan worden vaak gebruikt. Deze gassen of een combinatie daarvan worden wereldwijd in de meeste laboratoria gebruikt. Semitron MPR1000 is beter bestand tegen deze ruwe omgevingen dan traditionele materialen:kwarts, keramiek, Torlon®, Vespel® of PEEK.

Het gas wordt vervolgens bekrachtigd door radiofrequentievermogen dat is gegenereerd tussen een reeks elektroden. Het resultaat is plasma. Door het gasmengsel, de druk en het vermogen te selecteren, kan het effect van de plasmabehandeling op het oppervlak nauwkeurig worden gecontroleerd.

Lage erosiesnelheid

In vergelijking met het percentage gewichtsverlies in zuurstofrijk plasma presteert Semitron® MPR1000 beter dan PEEK, Torlon® en Vespel®. MPR1000 erodeert met 0,44% in 1KW. PEEK verliest 7,98% terwijl Torlon erodeert met 6,86% en Vespel met 6,15%. MPR1000 presteert 13x beter dan Vespel.

Reinheid:laag ionisch materiaalgehalte en lage uitgassen

Semitron® MPR1000 heeft een laag gehalte aan ionische materialen en een lage uitgassing. Een ion is een atoom of molecuul dat een elektrische lading draagt. Daarom zal de verontreiniging van het materiaal in de vacuümplasmakamer laag zijn.

Kosten

Semitron® MPR1000 is qua totale kosten lager dan andere materialen die vaak worden gebruikt, terwijl het de hoogste prestaties levert in plasmakamers.

Prints, onderdelen of problemen? Neem contact met ons op via Craftech Industries, Inc. Hudson, NY.

Craftech is een fabrikant van bevestigingsmiddelen, componenten en op maat gemaakte onderdelen in Semitron MPR1000.