Industriële fabricage
Industrieel internet der dingen | Industriële materialen | Onderhoud en reparatie van apparatuur | Industriële programmering |
home  MfgRobots >> Industriële fabricage >  >> Industrial materials >> Nanomaterialen

Hoogwaardige, op papier gebaseerde capacitieve flexibele druksensor en zijn toepassing in mensgerelateerde metingen

Abstract

Flexibele druksensoren (FPS) hebben brede toepassingen laten zien in kunstmatige robotica, draagbare apparaten, elektronische skins en biomedische systemen; er zijn echter vaak gecompliceerde procedures zoals microbewerking en micromolding nodig om hoge prestaties van de sensor te bereiken. In dit werk werd een nieuwe capacitieve FPS bereid met behulp van zilveren nanodraad (AgNW) -papiersubstraten als elektroden en polydimethylsiloxaan (PDMS) als diëlektrica, en de resultaten onthulden dat de gevoeligheid en het dynamische bereik van de voorbereide sensor 1,05 kPa−1 en respectievelijk 1 Pa tot 2 kPa, die vergelijkbaar waren met de state-of-the-art; praktische toepassingsmetingen gaven verder aan dat de capacitieve FPS in staat was om buigen, vingertikken en menselijke spraak te detecteren en om het objectprofiel te identificeren; daarom vertoont het een goed potentieel voor toepassing in kunstmatige huid en draagbare apparaten.

Inleiding

Dankzij hun flexibiliteit en gemak van integratie in gebogen oppervlakken zoals het menselijk lichaam, hebben flexibele druksensoren (FPS) enorme aandacht gekregen en laten ze een groot potentieel zien voor toepassingen in draagbare apparaten [1, 2], elektronische skins [3, 4], biomedische systemen [5], en menselijke bewegingsdetectie [6,7,8,9]; veel structuren en mechanismen zoals veldeffecttransistor [10, 11], condensator [2, 12], piëzo-elektrisch effect [13,14,15,16] en piëzoweerstandseffect [17,18,19] zijn voorgesteld om te realiseren FPS; onder hen wordt de capacitieve FPS steeds aantrekkelijker vanwege zijn eenvoudige structuur [20], groot dynamisch bereik [21] en goede stabiliteit [22]. In termen van materialen die worden gebruikt in FPS, is polydimethylsiloxaan (PDMS) een uitstekend materiaal vanwege zijn goede flexibiliteit, biomedische compatibiliteit met menselijk weefsel en diëlektrische eigenschap, en het wordt daarom vaak gebruikt als structureel materiaal in FPS en andere flexibele sensoren [23,24,25]; in capacitieve FPS werd PDMS vaak gebruikt als de diëlektrische laag [20, 26] en elektrodesubstraat [2, 21]. Als het gaat om de elektrisch geleidende laag in FPS, zilveren nanodraden (AgNW's), die een groot potentieel hebben en veel worden gebruikt in flexibele elektronica zoals zonnecellen [27,28,29,30,31,32] en filmverwarmers [33] , 34] werden vanwege hun uitstekende elektrische, optische en mechanische eigenschappen vaak samen met PDMS gebruikt; bijvoorbeeld Chen et al. [35] bereidde zilveren nanodraad (AgNW's) / (PDMS) composietfilms door AgNW's gedeeltelijk in de PDMS-laag in te bedden om een ​​ruw oppervlak te creëren, en het gefabriceerde sensorapparaat was in staat om drie keer zo veel gevoeligheid te bereiken als met behulp van gewone metaalfilmelektroden. Yao et al. [2] bereikte eerst parallelle AgNW-lijnen op silicium via een vooraf gevormd PDMS-schaduwmasker; vervolgens wierpen ze een vloeibaar PDMS op het AgNW-siliciumsubstraat; door het PDMS af te pellen na 12   uur te zijn uitgehard, werd een AgNW-ingebedde PDMS-elektrode verkregen; ten slotte werd een capacitieve FPS gefabriceerd die met succes duimbewegingen, kniegewrichtsbelasting en andere menselijke bewegingen detecteerde.

Om een ​​hoge gevoeligheid van capacitieve FPS te bereiken, is het gewoonlijk nodig om micropatronen in de diëlektrische laag en/of elektroden te produceren, en gecompliceerde procedures, zoals microbewerking [2, 35, 36] en micromolding [7, 21, 26], zijn vaak betrokken; bijvoorbeeld Bao et al. [26] creëerde omgekeerde piramidepatronen in silicium en bracht de patronen vervolgens over naar PDMS door het op de siliconen mal te gieten; de piramidepatronen werden daarom geproduceerd op PDMS. Li et al. [21] gebruikte ook een vormtechniek om een ​​inverse structuur van het lotusoppervlak op PDMS te creëren, gevolgd door het afzetten van een dunne goudlaag als de elektrode, en een capacitieve FPS werd gefabriceerd door polystyreen (PS) microsferen te gebruiken als de diëlektrische laag ingeklemd door twee PDMS-elektroden . In dit werk werd een veel eenvoudige procedure voorgesteld door een gewoon drukpapier te gebruiken dat was afgezet met AgNW's als het elektrodesubstraat, en krachtige capacitieve FPS werd geconstrueerd door PDMS te gebruiken als de diëlektrische laag gelamineerd met AgNW-papiersubstraat aan beide zijden; de testresultaten toonden aan dat de gevoeligheid en het dynamische bereik van het apparaat 1,05 kPa −1 waren en 1 Pa tot 2 kPa; bovendien was het in staat om objectvorm, vingertikken en stemgeïnduceerde trillingen te identificeren, wat zijn goede potentieel voor kunstmatige huid en draagbare apparaten aantoont.

Methoden

Voorbereiding van AgNW's, AgNW's-films, PDMS-films en capacitieve FPS

AgNW's werden gesynthetiseerd door hydrothermische methode:eerst werd 0,3 mol per liter (M) oplossing van polyvinylpyrrolidon (PVP) (molecuulgewicht 30000)/ethyleenglycol (EG) bereid door 0,2 g PVP toe te voegen aan 6  ml EG, en het mengsel werd 20 min geroerd; evenzo 0,1 M oplossing van AgNO3 /EG en 0,01 M natriumchloride (NaCl)/EG werden ook bereid. Ten tweede, oplossingen van AgNO3 /EG en NaCl/EG werden toegevoegd aan PVP/EG en geroerd totdat een uniforme oplossing was verkregen, die vervolgens werd overgebracht naar een Teflon-voering en in de reactieketel werd gedaan; de ketel werd gedurende 2 uur tot 140 ° C verwarmd en vervolgens gedurende 30 minuten tot 160 ° C voor de groei van AgNW's; nadat de ketel op natuurlijke wijze was afgekoeld tot kamertemperatuur, werden AgNW's in de vorm van wit poeder verkregen door de producten driemaal achtereenvolgens te wassen en te centrifugeren met aceton en gedeïoniseerd water. Ten slotte werden de verkregen AgNW's ultrasoon gedispergeerd in 100 ml ethanol voor AgNW-filmbereiding.

Voorbereidingstechnieken zoals airbrush-spuiten, spin-coating en soak-coating werden gebruikt voor AgNWs-films, en experimentele resultaten laten zien dat de airbrush-spuitmethode het voordeel heeft van hoge efficiëntie, goede uniformiteit en hechting; de details van de AgNW-filmbereiding waren als volgt:een schoon drukpapier met de afmeting van 20 mm x 20 mm werd gebruikt als het substraat dat op een kookplaat bij 100 ° C werd geplaatst; de diameter van de uitgaande poort van de airbrush was 0,5 mm, de afstand tussen de airbrush en het substraat was 150 mm; de vooraf ingestelde druk van airbrush was 0,1 MPa; AgNW's met verschillende diktes en elektrische weerstanden kunnen worden verkregen door de spuittijd aan te passen; na afzetting werd het substraat gedurende 1 uur op de kookplaat gehouden om PVP rond AgNW's volledig te verwijderen. PDMS werden bereid uit voorlopers van Sylgard 184 (Dow Corning). Eerst werden de hoofd- en verharders van de voorlopers gemengd met een massaverhouding van 10:1; na 20 min roeren werd het mengsel gedurende 10 min vacuüm gezogen om bellen tijdens het roeren te verwijderen; vervolgens werd het spin-coated op een zorgvuldig schoongemaakt glassubstraat. Het substraat werd vervolgens gedurende 2 uur gegloeid bij 65 ° C om uitgehard PDMS te vormen, en een vrijstaande PDMS-film kan uiteindelijk worden verkregen door het van het glassubstraat af te pellen.

De capacitieve FPS van het sandwich-type (Fig. 1) werd vervaardigd met behulp van twee AgNW-papiersubstraten die werden gebruikt als de elektroden en PDMS als de diëlektrica; elektrische signalen werden eruit gehaald door twee koperdraden, die op de elektroden waren gelijmd met geleidende zilververf; ten slotte werd de sensor verpakt met transparante tape.

een Structuur van op AgNW-papier gebaseerde capacitieve FPS en vereenvoudigd mechanisme. b Testplatform voor capacitieve FPS

Karakterisatie en test

Oppervlaktemorfologieën van AgNW's en papieren werden gekenmerkt door scanning elektronenmicroscoop (SEM) (type Inspect F50, FEI, VS); Ultraviolet-zichtbare (UV-Vis) spectroscopietests (SHIMAZU 1700, Japan) werden uitgevoerd om de samenstelling van de AgNW's te analyseren; voor sensortest werd een drukstimulerend platform gebouwd op basis van een krachtmeter (HP-5, Yueqing Handpi Instruments Co., Ltd, China); een zelfgemaakte oscillatieschakeling op basis van het LM555-timermodel is ontworpen om capaciteitsvariatie om te zetten in frequentie één; data-acquisitie werd gerealiseerd op een personal computer via Keithley2700 multimeter (Keithley, VS).

Resultaten en discussies

Zoals getoond in Fig. 2a, geeft de SEM-foto aan dat de bereide AgNW's uniform lange en dunne vormen hebben met een diameter van ongeveer 100 nm, en dat er geen onzuiverheden in de film worden gevonden; Fig. 2b impliceert dat de film een ​​relatief hoge dichtheid heeft, wat zal helpen om sterk geleidende elektroden van de capacitieve FPS te bereiken. Om de zuiverheid van AgNW's verder te onderzoeken, werd het UV-Vis-spectrum getest zoals weergegeven in Fig. 3. Het toont duidelijk aan dat twee pieken bij 355 nm en 380 nm verschijnen in de absorptiecurven, die te wijten zijn aan transversale en longitudinale plasmonresonanties van AgNW's; andere karakterpieken of geluiden zouden ook verschijnen als onzuiverheden zoals AgCl, AgNO3 , of er bestaan ​​zilveren nanodeeltjes in de film; daarom bewijst het UV-Vis-spectrum verder dat AgNW's van hoge kwaliteit met succes werden gesynthetiseerd.

eend SEM-foto's van AgNW-film en papier

UV-Vis-spectrum van de AgNW's

Figuur 4 geeft de resultaten van de responstest van het monster; zoals weergegeven in figuur 4a, kan de responscurve ongeveer worden verdeeld in twee lineaire delen in het hele drukbereik, d.w.z. een zeer gevoelig deel bij lage druk en een laag gevoelig deel bij hoge druk met het keerpunt op 2 KPa. Dit fenomeen is gebruikelijk voor capacitieve FPS, vooral gebaseerd op PDMS [21, 22] dat als volgt kan worden geïnterpreteerd:het PDMS heeft zijn elastische limiet; aangezien de toegepaste druk laag is, vertoont het PDMS een goede elasticiteit, kan grote spanning worden geproduceerd en grote capaciteitsvariatie (ΔC ) kan daarom worden verwacht; terwijl als de uitgeoefende druk groot genoeg wordt, PDMS zo dicht wordt dat het niet meer elastisch genoeg is, kan er geen duidelijke spanning meer worden geproduceerd door de uitgeoefende druk, en dus kan slechts een lage gevoeligheid van de sensor worden bereikt, en als gevolg daarvan, alleen het hoge gevoeligheidsbereik wordt gebruikt voor de meting. Uit de gegevens in Fig. 4a kan worden berekend dat het capacitieve FPS-monster een gevoeligheid heeft van wel 1,05 KPa −1 , deze waarde is beter dan die gerapporteerd in de meeste literatuur [12, 26, 37,38,39] en vergelijkbaar met de resultaten van AgNW's / microgestructureerde PDMS-gebaseerde capacitieve FPS in ons vorige werk [22], terwijl de fabricageprocedure veel is eenvoudiger. Het mechanisme achter deze goede prestatie kan worden toegeschreven aan de morfologische aard van het papier; zoals weergegeven in Fig. 2c en d, onthullen SEM-foto's van het papier dat er een groot aantal microgroeven en holtes op het papier bestaat, aangezien het moeilijk is om de lucht in de microgroeven en holtes samen te drukken; de lucht zal dan naar beneden bewegen en talrijke inkepingen in de AgNW's creëren wanneer druk van buitenaf wordt uitgeoefend; deze streepjes zullen uiteindelijk worden overgebracht naar de PDMS-film vanwege de hoge flexibiliteit van zowel de AgNW's als de PDMS; en als resultaat nemen de equivalente oppervlakken van de elektroden toe en neemt de afstand ertussen af, die beide nuttig zijn voor het bereiken van een grotere capaciteitsvariatie. Een meer specifieke karakterisering van de sensorprestaties in het extreem lage drukbereik werd uitgevoerd zoals weergegeven in figuur 4b. Het is duidelijk te zien dat het monster in staat is te reageren op een druk van slechts 1 Pa, wat zijn hoge gevoeligheid aantoont; ook kan het volledig herstellen naar zijn oorspronkelijke waarde na het lossen van elke druk, als gevolg van zijn goede stabiliteit en hoge reactiesnelheid. Afbeelding 4c geeft het resultaat van een herhaalbaarheidstest op korte termijn waarbij de sensor gedurende 500 perioden continu werd ingedrukt (81 Pa) en werd losgelaten. De vergrote responscurven aan het begin en het einde vertonen zeer vergelijkbare trends, wat verder de goede stabiliteit en herhaalbaarheid van het monster impliceert. Verder werd een herhaalbaarheidstest op lange termijn uitgevoerd na 1 maand; zoals getoond in Fig. 4a, verandert de respons van het monster bij lagedrukbereik niet na 1 maand; aan de andere kant, hoewel de hogedrukrespons een duidelijke afname onderging, zoals hierboven vermeld, zou dit de prestaties van de sensor niet beïnvloeden. Figuur 4d vergelijkt de prestaties van het monster voor en na 1 maand bij enkele specifieke drukwaarden; het onthult verder dat er geen degradatie van het apparaat kan worden gevonden bij lage druk; aan de andere kant, hoewel de respons bij hoge druk afneemt, vertoont deze geen variatie onder constante druk, wat wijst op de nog steeds goede stabiliteit van het monster.

Responstest van op AgNW gebaseerde capacitieve FPS:a druk-capaciteit relaties binnen een groot drukbereik, b reactie bij lage druk, c repetitieve test van korte duur, en d verouderingsprestaties na een maand

Om de bruikbaarheid van de op AgNW-papier gebaseerde capacitieve FPS te onderzoeken, werden verschillende real-life-gerelateerde tests uitgevoerd. Figuur 5a geeft het resultaat van de buigtest; de buighoek theta, zoals weergegeven in de inzet, wordt gedefinieerd als de ingesloten hoek gevormd door de twee lijnen die aan beide uiteinden de buigsensor raken. Het laat zien dat het monster erg gevoelig is voor buigen en hoe meer het monster buigt, hoe groter de capaciteit; bovendien heeft de capaciteit-theta-curve interessant genoeg een bijna lineaire relatie, wat het monster een goed potentieel geeft voor het meten van de buigstatus van de gewrichten van het menselijk lichaam. Figuur 5b laat zien dat de sensor dubbelklikbeweging duidelijk kan detecteren; de druk tijdens het klikken kan een capaciteitsvariatie produceren van wel 700 pF, één keer groter dan de beginwaarde; bovendien kan de sensor, zoals weergegeven in figuur 5c, elke lettergreep identificeren die de onderzoeker zegt en vertoont hij een hoge gevoeligheid en uitstekende herhaalbaarheid. Om het potentieel van de capacitieve FPS verder te onderzoeken, werd een 8 × 8 array van AgNW-papier capacitieve FPS vervaardigd zoals weergegeven in figuur 5d; de elektrodelijnen werden gevormd door de AgNW's door een hard masker te sproeien en de grootte van de pixel was 2 mm x 2 mm. Figuur 5e laat zien dat de array gemakkelijk een potloodpunt kan detecteren, en aangezien de punt klein genoeg was, werden de aangrenzende pixels helemaal niet beïnvloed, wat het verwaarloosbare overspraakeffect laat zien; bovendien, zoals getoond in figuur 5, nadat een van plasticine gemaakte kogel op de array was geplaatst, was deze in staat om de vorm van de kogel te herkennen; in het bijzonder impliceren de toewijzingsresultaten dat de meeste massa van de kogel zich in de middelste twee rijen bevindt, terwijl de tweede kolom met pixels aan de linkerkant de kleinste signalen heeft vanwege de kleine massa bij de kogelkop.

Toepassingen van op AgNW-papier gebaseerde capacitieve FPS:a buigtest, b vingertiktest, c stemtest, d 8 × 8 array van AgNW-papiergebaseerde capacitieve FPS, e detectie van een potloodpunt, f detectie van een kogelvorm, handgemaakt van plasticine

Conclusie

Door een gewoon papier als substraat te gebruiken, werden AgNW's bereid via hydrothermische synthesetechniek. SEM- en UV-Vis-karakteriseringsresultaten gaven aan dat de AgNW's een uniforme grootte, een grote lengte-tot-diameterverhouding en een hoge zuiverheid hebben, wat wenselijk is voor een goede flexibiliteit en elektrische geleidbaarheid van de AgNW's. Capacitieve FPS-monster werd bereid met behulp van de AgNW-papiersubstraten als elektroden en PDMS als diëlektrica; prestatietests toonden aan dat het monster niet alleen een hoge gevoeligheid en een groot dynamisch meetbereik had, maar ook een goede stabiliteit en herhaalbaarheid. Bovendien toont het monster zijn vermogen om menselijke bewegingen te detecteren, zoals het buigen van gewrichten, tikken met de vingers en spraak; bovendien werd een 8 × 8-array van capacitieve FPS met een pixelgrootte van 2 mm x 2   mm gefabriceerd, en de resultaten toonden aan dat de array een hoge gevoeligheid, een verwaarloosbaar overspraakeffect en potentieel voor identificatie van objectprofielen heeft. Deze tests geven aan dat onze capacitieve FPS van AgNW-papier goede mogelijkheden heeft voor toepassingen zoals kunstmatige huid, bewegingsbewaking, draagbare apparaten en objectidentificatie.

Beschikbaarheid van gegevens en materialen

De datasets die tijdens het huidige onderzoek zijn gebruikt en/of geanalyseerd, zijn op redelijk verzoek verkrijgbaar bij de corresponderende auteur.

Afkortingen

FPS:

Flexibele druksensoren

AgNW's:

Zilveren nanodraden

M:

Mol per liter

PVP:

Polyvinylpyrrolidon

PS:

Polystyreen

EG:

Ethyleenglycol

NaCl:

Natriumchloride

SEM:

Scanning elektronenmicroscoop

UV-Vis:

Ultraviolet zichtbaar

ΔC :

Capaciteitsvariatie

pF:

Picofarad


Nanomaterialen

  1. Toepassing van molybdeenmetaal en zijn legeringen
  2. Wat is sensorkalibratie-definitie en zijn toepassing
  3. Wat is de werking van een afstandssensor en zijn toepassingen
  4. Wat is een IMX586-sensor:werking en zijn functies
  5. Wat is de werking van de gewichtssensor en zijn specificaties
  6. Virtuele sensorwerking en zijn toepassingen
  7. Bloeddruksensor – werkt en zijn toepassingen
  8. Werking van de spanningssensor en zijn toepassingen
  9. Lambdasensor – werking en toepassingen
  10. IMU-sensorwerking en zijn toepassingen
  11. Bezettingssensor werkt en zijn toepassingen