Hoogzuivere gezichtsafdichtingsfittingen uitgelegd

Waarom vacuüm-gelaatsafdichtingsfittingen ideaal zijn voor toepassingen met zeer zuivere halfgeleiders

Masroor Malik, halfgeleidermarktmanager, Swagelok

Gezien het nooit eindigende streven van de halfgeleiderindustrie naar de kleinere en kleinere procesknooppunten die nodig zijn om krachtigere chips te produceren, wordt het steeds uitdagender om de proceszuiverheid te behouden. Om aan deze steeds veranderende behoeften te voldoen, moeten fabrieken productieomgevingen creëren met compromisloze precisie en netheid, en OEM's moeten apparatuur ontwikkelen die voortdurend wordt verbeterd om aan die behoeften te voldoen.

In de meest veeleisende toepassingen voor ultrahoge zuiverheid (UHP) vloeistofsystemen, bijvoorbeeld inerte of speciale gassen verbindingen zijn een kritische overweging voor OEM's van gereedschappen. Hoewel UHP-systemen vaak worden gelast om de kans op lekkage te minimaliseren, moeten bepaalde verbindingen periodiek opnieuw worden gemaakt voor onderhoud of vervanging. Maar vanwege de corrosieve aard van sommige moderne procesvloeistoffen en bedrijfsomstandigheden, kunnen traditionele montageopties met elastomeer O-ringafdichtingen ongeschikt zijn voor betrouwbare service vanwege materiaalincompatibiliteit. Ondertussen is lekdichtheid van het grootste belang. Lekkages kunnen gevaarlijk zijn, de UHP-omgeving verontreinigen en kunnen de fabrikant aanzienlijk kosten aan inkomsten- en onderhoudskosten.

In deze toepassingen kunnen vacuüm gelaatsafdichtingsfittingen een mogelijke oplossing zijn. Vergeleken met traditionele fittingen biedt deze technologie de betrouwbaarheid van een metaal-op-metaal afdichting, en biedt het lekdichte prestaties met een vacuüm-naar-positieve druk-ontwerp. Vacuüm-gelaatsafdichtingsfittingen kunnen ook helpen de algehele netheid te verbeteren door beknellingsgebieden te minimaliseren en kunnen de productie- en onderhoudsefficiëntie verbeteren met hun eenvoudige installatieproces.

Compromisloze afdichtingsprestaties

Vacuüm gelaatsafdichtingsfittingen werden voor het eerst ontwikkeld voor gebruik in ultrahoogvacuümsystemen in de jaren zestig, die cruciaal waren voor baanbrekend wetenschappelijk onderzoek voor de kernenergie-industrie. Door hun vermogen om een ​​lekdichte afdichting te behouden voor zeer giftige, corrosieve en ontvlambare vloeistoffen zijn ze tegenwoordig ideaal voor enkele van de meest populaire toepassingen in de productie van halfgeleiders.

Een vacuüm gelaatsafdichtingsfitting gebruikt twee hooggepolijste kralen om een ​​metalen pakking te vervormen tijdens het ingrijpen van de mannelijke en vrouwelijke moer om zulke hoge prestatieniveaus te bereiken. De afdichting vindt plaats op de pakking bij het "gezicht" van de hiel, waardoor de fitting zijn naam krijgt. Omdat de afdichting wordt gevormd wanneer de kralen de pakking binnendringen, moet het pakkingmateriaal altijd zachter zijn dan de kralen. Deze vervorming zorgt ervoor dat de kralen hun glans behouden, wat van cruciaal belang is voor de afdichting. Belangrijk is dat de gepolijste kralen worden beschermd wanneer de fittingen worden gedemonteerd. Onder normale bedrijfsomstandigheden wordt de afdichting volledig weggevaagd door het gas dat door de fitting stroomt, waardoor het gemakkelijk te spoelen is en ideaal voor systemen waar opgesloten volumes en dode ruimte moeten worden vermeden.

Het vermogen van vacuümgelaatafdichtingsfittingen om een ​​lekdichte afdichting te behouden, maakt ze ideaal voor enkele van de belangrijkste toepassingen in de halfgeleiderproductie.

Naast het creëren van een betrouwbare afdichting, zijn vacuüm gelaatsafdichtingsfittingen ontworpen om gebieden voor mogelijke insluiting van verontreinigende stoffen te elimineren in vergelijking met traditionele buisfittingen. Omdat UHP-processen voor halfgeleiders gassen bevatten die uiteindelijk stroomafwaarts zullen reizen en worden blootgesteld aan de wafer in de proceskamer, is elke gelegenheid om reinheid en zuiverheid te garanderen waardevol. Vacuüm gelaatsafdichtingsfittingen bieden het soort uitstekende reinheid waar productieomgevingen voor halfgeleiders om vragen. Sommige leveranciers bieden mogelijk extra verbeteringen; Roestvast staal van hogere kwaliteit met verhoogde nikkel- en chroomconcentraties kan de corrosieweerstand verder verbeteren, en oppervlaktebehandelingen zoals elektrolytisch polijsten laten een passiveringslaag achter voor verbeterde reinheid.

Efficiënte installatie en onderhoud

Onderhouds- en onderhoudsprocedures voor UHP-systemen moeten snel worden voltooid en met minimale verstoring van de werking van de faciliteit, want in de wereld van halfgeleiderfabricage, tijd is geld.

Omdat ze eenvoudig kunnen worden gedemonteerd en opnieuw gemaakt, bieden vacuüm-gelaatsafdichtingsfittingen efficiëntie- en onderhoudsvoordelen in UHP-toepassingen waar een make-or-break-punt vereist is. De installatie is eenvoudig en kan worden uitgevoerd met algemeen gereedschap. Eerst wordt de verbinding handvast in elkaar geschroefd. Vervolgens wordt de mannelijke moer stevig vastgehouden terwijl de vrouwelijke moer 1/8 slag (45°) voorbij handvast wordt voortbewogen met een sleutel (of 1/4 slag 90° bij gebruik van een koperen pakking). Wanneer remake nodig is, moeten technici de gebruikte pakking verwijderen en vervangen door een andere, en vervolgens de originele make-upinstructies volgen. Dit eenvoudige proces kan efficiëntie creëren tijdens de eerste systeemmontage en wanneer onderhoud nodig is, waardoor gebruikers sneller weer in productie kunnen gaan.

Bekijk hoe u een vacuüm-gelaatsafdichtingsfitting installeert

Vacuüm gelaatsafdichtingsfittingen zijn een ideale keuze in UHP-systemen waar betrouwbaarheid en onderhoudsgemak van cruciaal belang zijn. Als u besluit deze voor uw systeem te specificeren, is het ook belangrijk om met de juiste leverancier samen te werken.

Swagelok heeft een erfgoed van innovatie in vloeistofsystemen voor halfgeleidertoepassingsprocessen die teruggaat tot de begindagen van Silicon Valley. Onze videorecorder ^® fittingen met metalen pakkingen zijn speciaal ontworpen om de unieke uitdagingen op te lossen die zich voordoen bij de behandeling en distributie van UHP-gassen die door fabrieksfaciliteiten naar OEM-chipproductietools stromen.

We begrijpen de dagelijkse uitdagingen waarmee een productieomgeving voor halfgeleiders wordt geconfronteerd - en we delen onze kennis graag met onze klanten. We bieden uitgebreide trainingen over onze videorecorders, hun ontwerpkenmerken en waar ze het meest effectief kunnen worden ingezet. Deelnemers kunnen ook leren wat er nodig is om elk type fitting effectief te installeren en hoe ze mogelijke problemen kunnen oplossen.

Wilt u meer weten over onze VCR-gezichtsafdichtingsoplossingen en trainingsmogelijkheden? Onze specialisten staan ​​klaar om u te helpen.