Interferometrie met ruimtelijke resolutie van subpixels

Innovators bij NASA Marshall hebben in samenwerking met het Center for Applied Optics van de University of Alabama in Huntsville een systeem ontwikkeld dat de ruimtelijke resolutie van interferometrische metingen van optische oppervlakken verhoogt tot voorbij de fundamentele Nyquist-limiet van het beeldvormingssysteem/detector van de interferometer. Met het Sub-Pixel Spatial Resolution Interferometry (SSRI)-systeem kunnen optische fabrikanten nauwkeurig oppervlaktekenmerken van ruimtelijke frequenties kwalificeren die niet nauwkeurig konden worden opgelost met behulp van standaard interferometers.

De huidige trends in optisch ontwerp produceren nieuwe soorten specificaties, die verschillende ruimtelijke frequentiebanden vereisen en optica met grotere diafragmaopeningen vereisen; de mogelijkheid om deze kenmerken over de volle opening te karakteriseren vereist echter verbeteringen. Het SSRI-systeem komt aan deze behoefte tegemoet door de ruimtelijke resolutie van interferometrische metingen bij volledige opening te verhogen met behulp van een techniek die interlaced stitching van lage-resolutiemetingen omvat die zijn genomen bij laterale verschuivingen van subpixels om de ruimtelijke resolutie te verbeteren.

Het SSRI-systeem verhoogt de ruimtelijke resolutie van de interferometrische metingen door meerdere metingen van een optisch oppervlak uit te voeren met subpixelverschuivingen tussen een geladen gekoppelde apparaat (CCD)-detector en de te testen optiek tussen metingen. De metingen worden vervolgens gecombineerd om een ​​enkele meting te creëren met een hogere ruimtelijke resolutie.

De metingen worden gecombineerd met behulp van een stitching-algoritme. Deze methode verlicht de ruimtelijke resolutiebeperking die wordt gedefinieerd door de pixelgrootte en afstand. Aangenomen wordt dat het optische systeem is ontworpen om de hogere ruimtelijke frequentiekenmerken door te laten. Met deze nieuwe techniek kunnen precisie-optica nauwkeurig worden gekwalificeerd tegen de specificaties en kunnen fabrikanten de hogere ruimtelijke frequentiefouten deterministisch corrigeren. Het SSRI-systeem kan, met kleine aanpassingen, worden geïntegreerd in bestaande commercieel beschikbare interferometers en interferometrische profilers om de verkrijgbare ruimtelijke resolutie te vergroten.

NASA is actief op zoek naar licentiehouders om deze technologie te commercialiseren. Neem contact op met NASA's Licensing Concierge via Dit e-mailadres wordt beveiligd tegen spambots. U heeft Javascript nodig om het te kunnen zien. of bel ons op 202-358-7432 om licentiebesprekingen te starten. Volg deze link hier voor meer informatie.